Série FA

Pompe à soufflet – Série FA

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Deux modèles de pompes à soufflet sont disponibles pour les produits circulant en moyenne température, modèles standards :

Le type FA-2 (double soufflet horizontal) et le type FA-40 (pompe à soufflet double vertical).

Le type FA-2 est défini pour une utilisation dans la pulvérisation des wafers simples.

Le type FA-40 est utilisé pour le nettoyage des wafers de grande taille.