Iwaki France

Accessoires Série F

Sebastien — 2015-04-20T18:47:00Z

Accessoires pompe Série F
Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Accessoires pompe à soufflet– Série F

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Vous pouvez choisir plusieurs accessoires de pompe, parmi :
– PDA/PD Séries : anti-pulsateur
– PDA-H/PDA-W : réduit automatiquement les pulsations au refoulement de la pompe à soufflet dues au colmatage des filtres, ce qui protège l'installation des vibrations
– PD-H/PD-W : modèle anti-pulsateur compact et économique utilisé pour les applications des « wet bench »
– SC, FD : contrôleurs et système de pilotage
– SC-3 : contrôleur multifonction haute performance - Alimentation : DC24V+/-10% - Consommation inférieure : 20VA à la main.

Série PDS

Sebastien — 2015-04-19T18:54:43Z

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Pompe à soufflet – Série PDS

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Cette pompe à soufflet permet de doser des quantités très réduites de produits photorésistants.

Pompe à soufflet PDS - Matériaux de construction : ETFE et PFA

Cette pompe à soufflet peut être raccordée :
à un système automatique et efficace d'élimination d'air grâce auquel l'air dans le système peut être évacué rapidement et efficacement ainsi qu'à un contrôleur permettant de gérer le nombre de coups, la vitesse et la pression dans la chambre de la pompe à soufflet.

Série CSP

Sebastien — 2015-04-19T18:50:16Z

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Pompe à soufflet – Série CSP

Pompes à soufflets pour le semi-conducteur

Cette pompe à soufflet longue durée de vie est utilisée dans le transfert de liquide chargé de particules.

Pompe à soufflet CSP - Longue vie assurée par la structure en « tubephragme »

La pompe à soufflet CSP fonctionne par application d'une pression sur un liquide incompressible à la périphérie externe d'un tube (aucun effort n'est subi par le tube puisque aucune pièce de friction n'est incorporée).
Comparée à une pompe péristaltique dont le tube est soumis à de fortes contraintes mécaniques, la structure du « tubephragme » a une durée de vie plus longue.

Pompe à soufflet CSP - Elimination des poussières et des dépôts de « slurry »

Du fait qu'aucun composant ne subit de contraintes mécaniques, aucune particule n'est produite par cette pompe et les dommages liés au « slurry » sont minimes.
Aucune accumulation n'est à craindre à l'intérieur de la pompe à soufflet. Seules des quantités infimes de « slurry » restent à l'intérieur de la pompe dont le nettoyage est très facile.

Pompe à soufflet CSP- Transfert des mesures

Les révolutions du moteur à courant continu sont converties en un mouvement réciproque par un mécanisme à came qui permet un fonctionnement plus sûr du « tubephragme ».
Le moteur de la pompe à soufflet maintient une vitesse de rotation constante même en charge.

Pompe à soufflet CSP - Dimension compacte

La pompe à soufflet étant de dimension compacte, elle peut être installée dans un espace limité. Le montage de cette pompe sur une installation existante est également possible.

Série FA

Sebastien — 2015-04-19T18:44:47Z

Pompe à soufflet – Série FA
Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur
Deux modèles de pompes à soufflet sont disponibles pour les produits circulant en moyenne température, modèles standards :
Le type FA-2 (double soufflet horizontal) et le type FA-40 (pompe à soufflet double vertical).
Le type FA-2 est défini pour une utilisation dans la pulvérisation des wafers simples.
Le type FA-40 est utilisé pour le nettoyage des wafers de grande taille.

- Pompes à soufflet (semi-conducteur) / Semi conducteurs

Série FZ

Sebastien — 2015-04-19T18:42:05Z

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Pompe à soufflet FZ - Résistance importante à la corrosion

Les matériaux de construction de la pompe à soufflet et les soufflets (ETFE et PFA) permettent de transférer des liquides très agressifs à des températures comprises entre 5 et 100°C.

Pompe à soufflet FZ - Sûreté accrue

Structure en une seule pièce (pompe et soufflets soudés ensemble)

Entrées et sorties de la pompe à soufflet sous forme de tubes soudés au corps de la pompe, ce qui évite l'accumulation de particules et permet d'utiliser les joints disponibles sur le marché.

Raccordée à un contrôleur spécial, la pompe à soufflet peut être facilement pilotée et contrôlée.

Série FF-H

Sebastien — 2015-04-19T18:38:30Z

Pompe à soufflet – Série FF-H

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Pompe à soufflet FF-H - Transfert de liquide à haute température

Cette pompe à double soufflet est utilisée exclusivement dans le processus de fabrication de semi-conducteur.

Cette pompe à soufflet peut fonctionner en continu pendant des heures avec des liquides de 20 à 180° C.

Cette structure d'une seule pièce (pompe et soufflets soudés ensemble) évite les fuites dues aux variations de température (20 à 180°C).

La pompe à soufflet peut non seulement être utilisée pour les liquides à haute température mais aussi pour les solvants organiques.
Pompe à soufflet FF H - Opération sûreté longue durée

La pompe à soufflet fonctionne toujours précisément grâce au détecteur de proximité de fin de course permettant d'obtenir un débit stable au refoulement.

A l'intérieur de la pompe, les soufflets, dont l'amplitude de déplacement est faible, ont une grande fiabilité et une durée de vie importante.

Série FW (-H)

Sebastien — 2015-04-19T18:35:23Z

Pompe à soufflet – Série FW (-H)

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

L'adoption du soufflet épais permet à la pompe de décharger le liquide sous pression à une hauteur maximale de 0.45Mpa. Les soufflets ont une durée de vie 3 à 4 fois plus longue qu'un diaphragme. Ainsi, le temps d'arrêt peut être sensiblement réduit.

En plus de son utilisation pour produits chimiques, la série de pompe à soufflet FW, spécialisée pour les hautes pressions et les températures moyennes (10 à 100° C), est utilisable dans les systèmes de nettoyage et de circulation de la boue de CMP liquide, et la série de pompe à soufflet FW-H pour les hautes pressions et les hautes températures (10 à 180°C) est utilisable comme pompe de circulation dans un système de nettoyage.

Les parties d'ajustage pour l'aspiration et l'évacuation sont intégralement formées d'une structure tubulaire de PFA. Ceci empêche les particules de s'accumuler et permet d'utiliser les joints disponibles sur le marché.

Une fois reliée à un contrôleur spécial, l'évacuation de la pompe à soufflet peut être commandée et surveillée facilement.

Série FS

Sebastien — 2015-04-19T18:31:47Z

Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Pompe à soufflet – Série FS

Pompes à soufflets pour le semi-conducteur

Pompe à soufflet FS - Rapidité de cadence de coups

Une augmentation de la cadence des coups (240 coups/min) permet la réduction de la taille, du poids et du coût de fabrication de la pompe à soufflet ainsi qu'une diminution de l'amplitude du mouvement des soufflets.
(NB. Les cadences de coups sont différentes selon le modèle de pompe.)

Toutes les parties en contact avec le liquide sont composées de résine fluorée et ne comporte donc aucune partie métallique.
Les parties métalliques extérieures sont revêtues de résine fluorée. L'utilisation d'arbre étanche a pour effet de réduire, de façon remarquable, la production de particules.

Pompe à soufflet FS - Large gamme de températures de liquides / hauteur de refoulement importante

Etant donné que la pompe à soufflet peut transférer des fluides compris entre 5 à 180°C avec des pressions de refoulement de 5 bars, la pompe est utilisable non seulement pour les procédés de lavage et les procédés CMP mais aussi pour le transfert de produits chimiques.

Pompe à soufflet FS - Facilité de maintenance

Le détecteur de proximité peut être remplacé sans démonter la pompe à soufflet et le resserrage régulier de la boulonnerie n'est pas nécessaire, ce qui réduit le coût de maintenance.

Pompe à soufflet FS - Système de pilotage par détecteur

La pompe à soufflet est pilotée par un distributeur d'air qui reçoit les informations des détecteurs installés aux deux extrémités de la pompe.
En outre, lorsque le distributeur d'air est connecté au contrôleur, le débit est plus facilement géré.

La série de pompes à soufflet FS est la dernière gamme de pompes pneumatiques à soufflet prévue pour la circulation de l'eau de lavage des wafer ainsi que la recirculation et le transfert de CMP vers le bac d'alimentation.