Pompe volumétrique à soufflet – pour le semi-conducteur

Les pompes volumétriques à soufflet Iwaki occupent une place clé dans le domaine de la fabrication pour les semi-conducteurs.

Accessoires Série F

Série CSP

Débit Max.: 500 ml/mn
Pression max.: 2 bar
Matière du corps: PP, PVC, EPDM,

Série FA

Débit Max.: 40 l/mn
Pression max.: 4 bar
Matière du corps: PTFE, PFA,

Série FF-H

Débit Max.: 40 l/mn
Pression max.: 3 bar
Matière du corps: PTFE, PFA,

Série FS

Débit Max.: 55 l/mn
Pression max.: 5 bar (0,5 Mpa)
Matière du corps: PTFE, PFA,

Série FW (-H)

Débit Max.: 80 l/mn
Pression max.: 4,5 bar
Matière du corps: PTFE, PFA,

Série FZ

Débit Max.: 22 l/mn
Pression max.: 3 bar
Matière du corps: PTFE, PFA,

Série PDS

Débit Max.: 5 ml/shot
Pression max.: 0,15 Mpa
Matière du corps: PTFE, PFA, SiC,