Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Pompe à soufflet – Série CSP

Pompes à soufflets pour le semi-conducteur

Cette pompe à soufflet longue durée de vie est utilisée dans le transfert de liquide chargé de particules.

Pompe à soufflet CSP - Longue vie assurée par la structure en « tubephragme »

La pompe à soufflet CSP fonctionne par application d’une pression sur un liquide incompressible à la périphérie externe d’un tube (aucun effort n’est subi par le tube puisque aucune pièce de friction n’est incorporée).
Comparée à une pompe péristaltique dont le tube est soumis à de fortes contraintes mécaniques, la structure du « tubephragme » a une durée de vie plus longue.

Pompe à soufflet CSP - Elimination des poussières et des dépôts de « slurry »

Du fait qu’aucun composant ne subit de contraintes mécaniques, aucune particule n’est produite par cette pompe et les dommages liés au « slurry » sont minimes.
Aucune accumulation n’est à craindre à l’intérieur de la pompe à soufflet. Seules des quantités infimes de « slurry » restent à l’intérieur de la pompe dont le nettoyage est très facile.

Pompe à soufflet CSP- Transfert des mesures

Les révolutions du moteur à courant continu sont converties en un mouvement réciproque par un mécanisme à came qui permet un fonctionnement plus sûr du « tubephragme ».
Le moteur de la pompe à soufflet maintient une vitesse de rotation constante même en charge.

Pompe à soufflet CSP - Dimension compacte

La pompe à soufflet étant de dimension compacte, elle peut être installée dans un espace limité. Le montage de cette pompe sur une installation existante est également possible.