Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur
Pompe à soufflet – Série PDS
Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur
Cette pompe à soufflet permet de doser des quantités très réduites de produits photorésistants.
Pompe à soufflet PDS - Matériaux de construction : ETFE et PFA
Cette pompe à soufflet peut être raccordée :
à un système automatique et efficace d’élimination d’air grâce auquel l’air dans le système peut être évacué rapidement et efficacement ainsi qu’à un contrôleur permettant de gérer le nombre de coups, la vitesse et la pression dans la chambre de la pompe à soufflet.
Débit Max. | 5 ml/shot | |
Matière du corps | PTFE, PFA, SiC | |
Tension | 24 V DC | |
Pression max. | 0,15 Mpa | |
Viscosité | 1 à 10 ml/coup |